作者:金大元 单位:中国电子科技集团公司第三十六研究所;通信系统信息控制技术国家级重点实验室 出版:《通信对抗》2007年第04期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFTXDK2007040160 DOC编号:DOCTXDK2007040169 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天 《微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究》PDF+DOC2002年第08期 徐小云 ,颜国正 ,丁国清 《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC1997年第02期 毅力 《美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向》PDF+DOC1996年第06期 黄智伟 ,李富英 《MEMS传感器标准质量评定方法探讨》PDF+DOC2010年第06期 陈勤,曹赞,李艳梅 《基于MEMS的结构监测无线传感器网络研究进展》PDF+DOC2010年第04期 魏康林,温志渝,赵新强,张中卫,曾甜玲 《MEMS微电子机械系统与自动化变送器的发展》PDF+DOC2010年第05期 卞正岗 《新型传感器的发展前景》PDF+DOC2008年第14期 高慧芳 《MEMS和导航级MEMS惯性传感器》PDF+DOC2008年第08期 王忆锋 《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫
  • 微电子机械系统(MEMS)技术是继微电子技术后又一项重要的新兴技术。介绍了MEMS的基本概念和特点、MEMS的技术基础和制造技术及典型的MEMS产品,并在此基础上重点论述了MEMS在军事领域尤其是在军事电子信息系统中的应用和发展前景。

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