《微电子机械系统(MEMS)及其在军事领域的应用》PDF+DOC
作者:金大元
单位:中国电子科技集团公司第三十六研究所;通信系统信息控制技术国家级重点实验室
出版:《通信对抗》2007年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFTXDK2007040160
DOC编号:DOCTXDK2007040169
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《MEMS的研究与应用》PDF+DOC2003年第10期 杨轶,张宁欣,张林涛,陈兢,任天令,刘理天
《微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究》PDF+DOC2002年第08期 徐小云
,颜国正
,丁国清
《MEMS的微封装技术初探》PDF+DOC1997年第02期 毅力
《美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向》PDF+DOC1996年第06期 黄智伟
,李富英
《MEMS传感器标准质量评定方法探讨》PDF+DOC2010年第06期 陈勤,曹赞,李艳梅
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《MEMS微电子机械系统与自动化变送器的发展》PDF+DOC2010年第05期 卞正岗
《新型传感器的发展前景》PDF+DOC2008年第14期 高慧芳
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《微机电系统的研究及应用》PDF+DOC2008年第07期 丁群燕,曾鑫
微电子机械系统(MEMS)技术是继微电子技术后又一项重要的新兴技术。介绍了MEMS的基本概念和特点、MEMS的技术基础和制造技术及典型的MEMS产品,并在此基础上重点论述了MEMS在军事领域尤其是在军事电子信息系统中的应用和发展前景。
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