《Lam Research的先进深硅刻蚀技术》PDF+DOC
作者:Jay Minami,Alisa Hart
单位:中国电子科技集团第四十五研究所
出版:《电子工业专用设备》2015年第03期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDGZS2015030130
DOC编号:DOCDGZS2015030139
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在一个人们期望即时信息的社会,等上几秒钟,时间似乎变得很长。随着万亿传感器的视野和物联网(I OT)互联网的不断发展,对于“智能传感器”出现了明显的需求:即对大量数据进行分类,区分有用信息和噪音,节省珍贵的几秒钟。随着智能传感器的发展,微机电系统(MEMS)、电源装置以及先进封装蚀刻应用需要
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