《基于AVR单片机的高精度光学测厚系统设计》PDF+DOC
作者:赵兴龙
单位:中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司
出版:《光学技术》2014年第06期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJS2014060120
DOC编号:DOCGXJS2014060129
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对薄膜测厚系统进行了详尽剖析,从整体上论述了膜厚测量系统,研究了测厚系统中薄膜测厚仪的关键硬件电路,对薄膜测厚仪的软件流程进行了离散设计。以AVR单片机为核心处理器进行了数据采集和处理,设计并生产出了在线式光学薄膜厚度测量与监控系统。通过与实际膜厚进行对比实验,验证了薄膜测厚系统具有高精度、高稳定性和高可靠性,可应用于实际工业生产。
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