作者：高群,周鹏骥,王晓东 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2014年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2014060080 DOC编号：DOCNMJM2014060089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对微管类(直径0~300μm)零件的夹持需求，基于有限元分析设计了一种非对称式压电驱动的微夹持器.该微夹持器采用柔性铰链实现压电陶瓷输出位移的传递和放大.采用平行四杆机构实现夹钳末端的平行移动.通过检测柔性铰链处应变的方法，间接地测量夹持力和位移信息.微夹持器的实验特性显示位移的放大倍率为5.6倍，夹持器末端夹钳可以实现平行移动.力和位移标定实验中显示夹持力的分辨力在2.41 m N，位移的分辨力在0.22μm，且力/位移与应变具有很好的线性关系.采用增量式PID的控制算法对系统进行力/位移的闭环控制.以微型玻璃管(直径150μm)夹持为例，系统的阶跃响应实验显示，系统的力/位移控制可以实现无超调.实验结果表明增量式PID控制算法可以实现对本微夹持器力/位移的准确、稳定控制。

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