《AZO-SiO_2-Si材料中二维侧向光伏效应的研究》PDF+DOC

采用旋转涂覆法在被氧化的硅基底片上形成掺铝氧化锌(AZO)薄膜，再经过真空烘干后制成AZO-Si O2-Si金属氧化物-氧化物-半导体材料样品。使用波长785 nm、功率5 m W的激光在二维方向上扫描样品，绘制出侧向光伏与激光照射点的关系曲线图，研究其二维侧向光伏效应。激光沿一定轨迹扫描金属氧化物-氧化物-半导体结构样品后，利用Origin软件将测得的实验数据拟合成实验结果图。为了更深层次的研究AZO-Si O2-Si结构中的侧向光伏效应，根据电子跃迁、载流子扩散和能带结构理论，结合前人的研究成果建立物理模型。研究显示，作为一种新型的高精度传感器，样品电极点连线区间内测得的侧向光伏曲线灵敏度为90.35 m V&#183；mm-1、线性相关系数为0.9987，因而AZO-Si O2-Si结构可以用作高精度位移传感器(PSD)。实验结果显示激光扫描线偏离电极连线时，线性相关系数和灵敏度都会减小。在垂直于电极连线方向上，虽然侧向光伏曲线没有良好的线性相关性和较高的灵敏度，却具有高度的对称性，AZO-Si O2-Si结构可以用作距离校准传感器(RCD)。

提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。