作者：邵忠喜,韩德东,周维江,梁迎春 单位：中国机械工程学会 出版：《机械工程学报》2015年第10期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXXB2015100300 DOC编号：DOCJXXB2015100309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 激光惯性约束聚变对机械式拼接光栅的稳定性提出更高的要求，采用全闭环控制技术实现光栅拼接的高稳定性。为提高光栅装置的拼接精度，分析柔性机构的运动性能，从理论上推导精确的拼接机构运动控制算法；以电容微位移传感器作为反馈元件，研究动光栅位姿监测算法，实现动光栅位姿的实时监测。综合应用拼接机构运动控制算法和光栅位姿监测算法，实现光栅拼接稳定性的单神经元自校正PID全闭环控制；设计了光学检测系统，进行光栅拼接试验，并测试拼接装置的运动精度和稳定性，评估光栅拼接稳定性全闭环控制技术的可行性。试验结果表明拼接机构定位精度为0.2μrad/步(转动)、10 nm/步(平动)，转动稳定精度小于1.2μrad/30 min、平动小于24 nm/30 min(平动)，满足光栅拼接任务的要求。

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