作者：孙玉容 单位：中国计量科学研究院 出版：《中国计量》2015年第12期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJILA2015120690 DOC编号：DOCJILA2015120699 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微系统及其商品化》PDF+DOC2000年第03期 章维一,侯丽雅 《微电子技术新领域》PDF+DOC1999年第04期 陈克金,邵凯 《从集成电路迈向微系统》PDF+DOC1998年第18期 王阳 《MEMS中的CAD／CAE技术与系统结构》PDF+DOC1996年第S1期 尹宝林 《微电子机械系统的研究现状》PDF+DOC1994年第02期 吴桂君,颐文琪 《微系统─电子技术的又一里程碑》PDF+DOC1994年第Z1期 谢国章 《军用微电子机械系统的应用及封装》PDF+DOC2005年第06期 桑荣 《MEMS技术及应用》PDF+DOC2003年第03期 涂苏龙,黄新波 《微系统进展与我院微系统发展战略思考》PDF+DOC2003年第01期 封松林,王渭源,王跃林 《超精密测量技术的应用进展》PDF+DOC2013年第06期 马爱民,马忠臣

    • 近日，我国自主研制的C919大型客机下线，这是中国自主研制大飞机的里程碑，也是中国高端制造业的突破性进展!产业发展升级使得微电子、微机械、光学和现代超精密加工工业对检测精度的要求越来越高，同时要求更大的检测量程。激光干涉检测技术可以在大量程内达到较高的测量准确度，所以在高端制造领域得到广泛

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