作者：王仲楠,王武义,Derek G.Chetwynd,张广玉 单位：西安机电信息研究所;机电工程与控制国家级重点实验室;中国兵工学会 出版：《探测与控制学报》2015年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDYX2015030130 DOC编号：DOCXDYX2015030139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对通用于一般机构和微、纳机电系统(MEMS/NEMS)的微动磨损测试，新研制了低频往复式微动磨损测试系统。采用微压痕式直接标定方法，首先标定垂直、侧向加载测试的传感器灵敏度，再用标定的传感器进行了电磁加载微测量头装置的机构刚度标定。实验结果表明：垂直、侧向分别加载得到的机构刚度值偏差小，电磁加载微测量头装置可靠性、实验一致性好。

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