作者:陈晓冬,王丁,王现英 单位:中国电子学会;中国电子元件行业协会 出版:《电子元件与材料》2015年第05期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFDZAL2015050110 DOC编号:DOCDZAL2015050119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 由于材料尺度的限制,微纳器件的制作工艺一般较为复杂。以ZnO,SnO2和石墨粉为原料,采用化学气相沉积(CVD)法成功制备出长度达厘米级别的分等级结构ZnO微米线。分别通过立体显微镜、场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)和X射线粉末衍射仪(XRD)对样品的形貌和结构进行表征。结果表明所制备的材料其一级结构为ZnO微米线,二级机构为四周均匀生长的ZnO微米短棒。设计制作出一种基于单根ZnO微米线的自供电传感器,并以乙醇为目标检测物进行敏感性能测试。结果表明:在不加外部电源的情况下,接触乙醇液体可以得到0.15 V的输出电压或25 nA的输出电流。

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