作者：徐文奎,黄海波,李相鹏 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2016年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2016010050 DOC编号：DOCBDTQ2016010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在微尺度方面，力反馈能实现有效和可靠的操作，陈述了基于压阻式微悬臂梁传感器在微操作方面对酵母菌弹性模量的定量测量。采用惠斯通电桥采集微悬臂梁传感器信号，通过信号调理电路模块可以实现高分辨率的微力测量。在传感器力标定上，依靠激光多普勒干涉仪准确得出传感器探针变形量，校准探针能给出微悬臂梁作用力的大小，两者呈现较好的线性关系，分辨率达到纳牛级。基于此测力装置，实现了对酵母菌弹性模量的测量，测得酵母菌弹性模量为(2.9&#177；2.2)MPa，表明该压阻式悬臂梁传感器能对微米级尺度的细胞进行力学测量。该传感器具有良好的稳定性、准确性、高精度和低成本等优点。

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