作者：王宇,陈火耀,刘正坤,郑衍畅,洪义麟,付绍军 单位：中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所 出版：《光子学报》2015年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGZXB2015040300 DOC编号：DOCGZXB2015040309 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了数字编码光栅尺的结构设计并提出一种制作方法.采用紫外对准光刻、全息光刻及湿法腐蚀结合在(100)硅片上制作母光栅尺，并以具有紫外固化特性的聚氨酯丙烯酸酯为材料，将母光栅尺复制到硬基底上.实验表明，该工艺可重复性高，复制光栅尺的衍射效率高于母光栅尺的90%，并能承受航空环境-55℃~70℃的高低温冲击.光栅尺的制作准确度满足传感器的要求，信号响应准确率100%.该方法可对具有准确度高、图形复杂、工作环境恶劣等特点的微纳米结构的制作提供借鉴。

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