作者：雷强,高杨,赵俊武,吕军光 单位：中国工程物理研究院;中国核学会;四川省核学会 出版：《强激光与粒子束》2017年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQJGY2017100190 DOC编号：DOCQJGY2017100199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于氮化铝双端固支音叉(AlN DETF)的谐振式传感器具有尺寸小、稳定性和可靠性好、时间响应快等特点。为了提高灵敏度和分辨率，需要分析AlN DETF谐振器的振梁结构参数对灵敏度和信号功率的影响。在有限元仿真软件中建立AlN谐振器的多物理场模型，进行预应力特征频率分析，仿真验证单个振梁结构参数对灵敏度的影响。在振梁厚度保持恒定的情况下，对仿真结果的数据进行后处理，得到信号功率与振梁长度、宽度的关系。结果表明，相对灵敏度、信号功率随振梁长度、宽度的变化趋势相反。因此，需要根据工艺水平和结构强度等因素，综合考虑AlN谐振器的信号功率和相对灵敏度，对两者进行权衡。仿真分析了优化后AlN DETF谐振器的性能，&#177；10μN范围内的灵敏度为56 Hz/μN，信号功率为6.8&#215；10-4 nW，Q值为958。

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