《自由曲面超精密成形在线测量仪的研制》PDF+DOC
作者：欧阳八生,唐少农
单位：中国仪器仪表学会
出版：《仪器仪表学报》2006年第S3期
页数：3页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFYQXB2006S32520
DOC编号：DOCYQXB2006S32529
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设计研制一种用于成形表面接触式在线测量的超精度测量仪。其优点是测量力小(大约100～150mgf)，对被测表面不会产生划伤、刮痕，测量精度高，测量仪测头的倾斜与滑动引起的测量误差很小，且其运动通过极小型的激光干涉差分传感器进行检测。因此，其测量数据的相关性和重复性比传统的传感器要好得多，测量数据的重复性3σ小于0．1μm。该测量仪可实时进行测量，测量得到的数据通过电脑同步输出，效率高。
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