《整合量测技术的新应用和定义》PDF+DOC
作者:Alain Diebold,Sematech,Bradley Van Eck,ISMI
单位:上海贝岭股份有限公司
出版:《集成电路应用》2006年第08期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJCDL2006080180
DOC编号:DOCJCDL2006080189
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虽然工艺和良率控制离不开量测技术,但对于量测、整合量测、原位量测、原位传感器、工艺和设备传感器却没有形成统一的定义,因此存在严重的混淆。
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