作者：孙长库,王小兵,刘斌,郑义忠 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2006年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2006020050 DOC编号：DOCNMJM2006020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分析了电容传感器的基本原理，推导了电容传感器测量小孔内径的数学模型，组建了电容传感微孔测量系统，研究了φ3mm微孔电容传感器的制作方法及测量系统的标定方法．所制作的测孔传感器经标定后，测量分辨率达到0．01μm．该测量系统操作简单，可通过USB接口、结合测量软件在计算机上直接读出微小孔的内径值．

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