作者：陈健,陈德勇,王军波,杨苗苗,毋正伟,陈李 单位：北京长城航空测控技术研究所 出版：《测控技术》2006年第08期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFIKJS2006080010 DOC编号：DOCIKJS2006080019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC2003年第04期 朱长纯,韩建强,刘君华 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC2009年第06期 史晓晶,陈德勇,王军波,毋正伟,刘磊 《扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除》PDF+DOC2009年第03期 赵晋敏,李守荣,王军波,陈德勇,刘磊,史晓晶 《谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文)》PDF+DOC2007年第01期 陈健,陈德勇 《一种谐振式传感器频率特性测试平台》PDF+DOC2007年第01期 蔡晨光,樊尚春,邢维巍 《静电力作用下微机械结构的位移特性分析》PDF+DOC1999年第03期 杨恒,鲍敏杭,沈绍群,李昕欣,任建军 《微机械谐振式硅桥传感器》PDF+DOC1990年第02期 李志能 《基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器》PDF+DOC2011年第12期 李玉欣,陈德勇,王军波,焦海龙,罗振宇 《谐振式低速气体流速微传感器的理论建模》PDF+DOC2007年第05期 陈健,陈德勇,王军波 《一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)》PDF+DOC2007年第02期 陈健,陈德勇,王军波

    • 主要研究了静电激励/电容拾振谐振式硅微加速度传感器的同频干扰问题，分析了几种干扰源，建立了同频干扰的电路等效模型，提出一种基于双端激励/双端检测的结构，采用二次差分的方式消除同频干扰。

    📙 相关资料

    1. 《微机械传感器的现状与发展》PDF+DOC 概述国内外目前已实现的微机械传感器，特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向。...
    2. 《一种新型微机械谐振式压力传感器研究》PDF+DOC 提出了一种微机械谐振式压力传感器的新结构。该传感器采用了电磁激励和差分检测方式。谐振器的制作采用了30μm厚扩散硅的(100)硅片，从而实现了谐振器与压力膜的一体化，避免了谐振梁与压力膜键合引入的应力，并且工艺简单易于实现。文中介绍了结构的有限元仿真(FEA-ANSYSSimulation)优化，工......
    3. 《扩散硅谐振式压力传感器同频干扰的建模与消除》PDF+DOC 为简化谐振式微机械压力传感器的制备工艺，提出了一种采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器，并采用电磁激励实现传感器的闭环控制。实验中发现：由于采用扩散硅材料，传感器受到较为严重的同频干扰影响，因此，消除传感器的同频干扰成为需要解决的一个主要问题。通过对采用扩散硅作为谐振梁的压力传感器微结构进行分析，建立了......
    4. 《谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文)》PDF+DOC 有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器，仔细分析新结构的几个主要振动模态，优化结构参数，证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析。...
    5. 《一种谐振式传感器频率特性测试平台》PDF+DOC 谐振式传感器的谐振频率和Q值可以通过其频率特性计算得到，因此需要有一种通用的测试平台来测量各种不同谐振式传感器的频率特性。本文描述了一种谐振式传感器频率特性测试平台，并提出了一种采用间歇激励方法测试谐振式传感器谐振频率的新方法，采用线性调频信号激励谐振式传感器，传感器自由振动状态下的振动频率即是传感......
    6. 《静电力作用下微机械结构的位移特性分析》PDF+DOC 分析了在微机械传感器与执行器中常用的３种微机械结构在静电力作用下的静态位移特性，并对典型结构进行了数值计算。结果显示对质量块平动的双端固支梁岛结构在静电力作用下极板的最大平衡位移正好为无静电力时极板间距的１／３，其他２种结构在静电力作用下极板中心处的最大平衡位移均略小于无静电力时极板间距的１／３...
    7. 《微机械谐振式硅桥传感器》PDF+DOC 本文描述了微机械谐振式硅桥传感器的工作原理，硅桥制作过程以及传感器的工作特性。讨论了传感系统的检测灵敏度与光纤头到硅桥表面距离的关系。实验结果表明，激励硅桥谐振的光功率是在10～450μW，探测信号的光功率在300μW时，其系统的信噪比为25～40dβ，它具有重要的实际应用价值。...
    8. 《基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器》PDF+DOC 为了提高压力传感器的精度并抑制温漂，提出了一种基于自停止腐蚀技术的“H”型双端固支梁、电磁激励、差分检测的微机械(MEMS)谐振式压力传感器。首先，通过有限元分析仿真优化了传感器的机械参数，得到了较高的灵敏度和分辨率。然后，基于浓硼扩散自停止腐蚀原理，采用MEMS体硅标准工艺加工出一致性较好的传感器......
    9. 《谐振式低速气体流速微传感器的理论建模》PDF+DOC 首次提出一种基于昆虫风速感受器的微型谐振式传感器，用以测量低速气体流动。基于有限元分析提出气体雷诺数与其绕流无限长平板时的粘滞系数的数值关系，给出无限长平板的尺寸对于上述关系的影响。基于上述关系，推导这种微传感器在测量低雷诺数气体流动时的理论模型，得到气体流速与谐振子固有频率偏移的关系。使用有限元分......
    10. 《一种新颖的微杆杠结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用(英文)》PDF+DOC 为了提高谐振式微加速度传感器的灵敏度，提出一种新颖的微杠杆结构。分析该结构的工作原理，推导该结构的理论模型，得到这种微杆杠放大倍数的解析表达式.在这个理论模型的基础上，为了进一步提高微杆杠的放大倍数，对其参数进行优化，分析微杆杠结构中各参数对于放大倍数的影响，优化后该结构的放大倍数高达200.基于这......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。