作者：肖文,李瑞,刘德文,伊小素 单位：北京航空航天大学 出版：《北京航空航天大学学报》2006年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJHK2006110230 DOC编号：DOCBJHK2006110239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对采用半导体工艺加工的微机械结构对振动进行测量的问题，提出了基微光机电系统(MOEMS)结构并采用光纤读出的振动传感器的设计方案，分析了该传感器的基本测量原理并推导了数学模型.该传感器采用单光纤的读出方式，利用固定于探测器敏感头前端的微结构感受待测物体的振动，通过测量由微结构振动引起的反射光强度的变化，实现对振动的测量.单光纤结构的使用和微结构参数的合理设计，使得该系统与传统的光纤读出系统相比，具有灵敏度高、尺寸小、易于同光纤匹配的特点.应用该系统对压电陶瓷的振动情况进行测量，可探测到0.18 nm的位移。

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