作者：宋光德,官志坚,栗大超 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006052580 DOC编号：DOCCGJS2006052589 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了电容式微加工超声传感器(cMUT)的基本结构和工作原理.同时使用有限元方法对cMUT的运行情况进行模拟.提出了两个ANSYS模型来阐述cMUT的塌陷电压与谐振频率.一个3D模型用来阐述制造过程中的残余应力对cMUT谐振频率的影响.另外一个3D模型阐述不同的运行环境对cMUT的谐振频率的影响。

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