作者：毋正伟,陈德勇,杨苗苗,徐磊 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2006年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2006080290 DOC编号：DOCCGQJ2006080299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器，对制作过程的一些工艺问题进行探讨，并提出相应的解决办法，主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析，分辨力可以达到1mgn，测试&#177；1gn范围内线性度可以达到99.99%。

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