《集成微光机械振动传感器芯片制作工艺研究》PDF+DOC

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2. 《微型光传感器》PDF+DOC 1 引言 近年来，利用小型、集成化的微型光学系统的传感技术在微机械领域得到了长足的发展（见表1）。利用微细加工技术使批量生产和降低成本成为可能，而光学元件、电子元件和微机械元件的集成化可望实现高功能化和智能化，从而人们期望这些元件在工业方面得到广泛应用。光学元件的集成形式有光波导型、在硅基底上自由配......
3. 《振动传感器的相位特性测量》PDF+DOC 本文描述用激光干涉的方法测量机械振动的幅值及相位，并由此测量振动传感器灵敏度的幅频及相频特性，重点是相频特性，特别是反正切函数的计算方法。...
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6. 《光纤振动传感器》PDF+DOC 介绍一种能测量微机械结构振动频率的光纤振动传感器.较详细地介绍了该传感器的工作原理和结构特点，并对其线性检测范围进行了理论分析.这种传感器能检测振幅为1μm的振动。...
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