作者：邵春玉,王兢,刘梦伟,董维杰 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2006年第S1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2006S11160 DOC编号：DOCYQXB2006S11169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文采用溶胶-凝胶工艺制备了不同Mn离子掺杂浓度的PZT薄膜。研究了不同掺杂浓度对压电传感器薄膜铁电特性的影响。试验结果表明：当Mn离子含量较少时，Mn在PZT中主要表现施主掺杂特性，薄膜铁电性能提高；而当浓度增大时，薄膜性能降低。

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