作者：赵大博,栗大超,李源,傅星,胡小唐 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006050500 DOC编号：DOCCGJS2006050509 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对微纳测量领域的需要，设计了一种三维微触觉MEMS传感器.为了标定该传感器的性能参数，提出了以高精度纳米测量机(NMM)为核心的测试校准方法；加工了NMM测头模块；制作了压阻信号调理和采集电路；搭建了测试校准系统.该系统具有移动范围大，精度高，更换方便，易于控制和记录数据等特点.利用它对传感器在Z轴方向的输出作校准，结果证实校准曲线线性良好，传感器在三个方向上耦合很小，其Z方向测量分辨力能够达到30nm，迟滞性小于&#177；0.05%。

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