《基于双晶片压电传感器特性分析》PDF+DOC
作者:李伟
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2006年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2006040230
DOC编号:DOCCGQJ2006040239
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用模态分析法分析双晶片压电力、振动、位移传感器的位移特性及灵敏度特性,并给出灵敏度与压电材料参数及晶片几何尺寸的关系。其仿真分析结果对压电双晶片用于力、振动、位移等传感器的设计具有重要意义。
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