作者：张以忱,张健,巴德纯 单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所 出版：《真空》2006年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZK2006060000 DOC编号：DOCZKZK2006060009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《关于镍薄膜热电阻研制的几个问题》PDF+DOC2002年第01期 周金芳,梁素珍 《S枪磁控溅射Ni薄膜晶粒结构与导电特性的研究》PDF+DOC1999年第05期 凌明芳 《智能轴承用薄膜传感器》PDF+DOC2003年第06期 张以忱,刘希东,巴德纯,高航 《非对称双芯光子晶体光纤的温度传感特性研究》PDF+DOC2019年第12期 曾维友,王晴岚,徐利,黎小姝 《MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究》PDF+DOC2020年第06期 侯晓伟,刘莉娜,吕阳,郑良广,张丛春 《高温材料测定用薄膜温度传感器》PDF+DOC1991年第06期 吉田丰明,吴风 《Cr金属薄膜温度传感器的研究》PDF+DOC2004年第S1期 闫卫平,朱剑波,马灵芝,郭吉洪 《磁控溅射制备In掺杂ZnO薄膜及NO_2气敏特性分析》PDF+DOC2009年第09期 方亮,彭丽萍,杨小飞,黄秋柳,周科,吴芳,刘高斌,马勇 《基于菲涅耳反射的准分布式光纤温度传感器》PDF+DOC2008年第12期 徐平,庞拂飞,陈娜,陈振宜,王廷云 《基于光纤光栅的小热惯量温度场监测实验》PDF+DOC2013年第05期 洪俊,薛航,王彦晓,王浩

    • 利用镍薄膜的温度电阻特性以及磁控溅射镀膜技术设计并制备了薄膜热阻型温度传感器，为了达到较好的工作稳定性，设计了多层的复合膜系。文中分析了沉积薄膜的工作压力、电源功率、靶基距、退火温度、退火时间等制备工艺参数对热阻薄膜特性的影响，以及工艺参数对所沉积的镍薄膜的膜厚均匀度和温度电阻曲线，温度电阻系数等传感特性的影响。通过调整实验的工艺参数，最终得到电阻温度性能较好的镍薄膜温度传感器。测试结果表明薄膜传感器在0~250℃之间温度电阻曲线有较好的线性度和稳定性。

    📙 相关资料

    1. 《关于镍薄膜热电阻研制的几个问题》PDF+DOC 就镍薄膜热电阻研制过程中的选材、工艺、稳定性等问题进行了探讨 ，实验结果表明 ：可以选用国产 0号镍 ，采用 S-枪磁控溅射技术制备镍薄膜热电阻 ；合适的热处理工艺是保证电阻温度系数α值及其一致性的关键 ；运用保护膜技术可以提高镍薄膜热电阻温度传感器的长期稳定性...
    2. 《S枪磁控溅射Ni薄膜晶粒结构与导电特性的研究》PDF+DOC 应用薄膜晶粒边界散射的三维物理模型，分析了Ni薄膜晶粒结构对Ni薄膜电阻特性的影响，采用正交试验法得到了用S枪磁控溅射的Ni薄膜具有良好导电特性的最佳工艺条件.SEM照片表明了不同工艺条件下Ni薄膜的薄膜晶粒结构，最后给出了用S枪磁控溅射的Ni薄膜制成的温度传感器的电阻温度特性...
    3. 《智能轴承用薄膜传感器》PDF+DOC 滚动轴承是机械工业的基础元件，波及机械工业各个领域。普通的轴承承受着载荷的实时工作状态很难精确测定。基于微机电的薄膜传感器智能轴承技术，能实现轴承的实时在线自诊断，防止轴承失效及其引起的机器失效。本文介绍了基于微机电薄膜传感器的智能轴承的结构及组成，着重探讨了应用于智能轴承的薄膜传感器的特点、种类、......
    4. 《非对称双芯光子晶体光纤的温度传感特性研究》PDF+DOC 设计了一种基于非对称双芯光子晶体光纤的温度传感结构，在光子晶体光纤的一个纤芯中填充液体乙醇作为温敏介质，利用双芯光纤的定向耦合效应，通过检测定向耦合器的中心波长实现对温度的测量。用虚轴光束传播法分析光子晶体光纤基模的有效折射率与温度的关系，结果表明设计的光纤结构具有良好的温度传感特性，在-20～70......
    5. 《MEMS铂薄膜温度传感器的电阻温度系数研究》PDF+DOC 采用MEMS工艺在硅衬底上制备了铂电阻薄膜温度传感器，在500℃、600℃、700℃和800℃四个温度点下对铂电阻样品进行了热处理，对样品在退火前后的电阻值进行了测试和对比分析。对800℃的退火样品的阻温特性进行了多次测量，其在零摄氏度的电阻温度系数可达3 150&#215；10~(-6)/......
    6. 《高温材料测定用薄膜温度传感器》PDF+DOC 近年来，人们大力开展航天用的喷气推进式发动机和地面上用的各种先进热机的研究开发工作，为了提高它们的热效率、增大输出以及小型轻量化，就要提高热机的循环最高温度，一般认为温度至少也应达到1500～2000℃。要开发这些热机所用的高温材料，离不开...
    7. 《Cr金属薄膜温度传感器的研究》PDF+DOC 采用等离子体溅射方法制备了Cr金属薄膜式温度传感器。探讨了光刻腐蚀工艺、Cr薄膜厚度及薄膜热处理温度对Cr薄膜电阻温度系数的影响。通过选择合适的制备工艺，得到了较理想的Cr金属薄膜温度传感器。...
    8. 《磁控溅射制备In掺杂ZnO薄膜及NO_2气敏特性分析》PDF+DOC 利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上成功制备了In掺杂的ZnO(ZnO∶In)薄膜。X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)的研究结果显示所制备的ZnO∶In为纤锌矿的多晶薄膜，具有高度C轴择优取向。气敏研究结果表明ZnO∶In薄膜对NO2气体有较强的敏感性，最佳工作温度为273℃，其敏感度与薄膜的......
    9. 《基于菲涅耳反射的准分布式光纤温度传感器》PDF+DOC 基于菲涅耳反射原理和光时域反射(OTDR)技术，提出了一种新型的、结构简单的准分布式光纤温度传感器。传感器由两个端面抛光的光纤对接构成，并在两端面间隙中填充温敏材料。传感器周围温度变化改变温敏材料的折射率，从而引起菲涅耳反射强度的变化。将三个传感头串联，利用OTDR探测各传感器菲涅耳反射的微弱变化实......
    10. 《基于光纤光栅的小热惯量温度场监测实验》PDF+DOC 为了研究温度传感器测量小热惯量温度场的准确性和即时性，对2ml沸水分别利用水银温度计、热电偶和金属管封装的光纤光栅温度传感器进行测温，所测温度的值分别为94.0℃、95.0℃和98.6℃，三者的响应时间分别为10.0s、8.5s、2.5s。可见，小体积金属管封装的光纤光栅温度传感器测量精度高，响应速......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。