作者：张辉军,穆长生,王璐 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2006年第S2期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2006S22520 DOC编号：DOCYQXB2006S22529 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用薄膜工艺及MEMS工艺研制了一种以硅PN结为基底材料的TiO2氧传感器，阐述了该传感器的工作原理、工艺流程及射频磁控溅射制备银电极及TiO2薄膜的方法。利用XRD、SEM分析了薄膜的表面形貌及晶粒结构。基于该结构的氧传感器具有良好的感特性及响应特性，具有响应时间短、信号线性度好、灵敏度高等优点。

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