《基于Si_3N_4薄膜的压力传感器》PDF+DOC
作者:王奇,赵湛,耿照新,方震,曾欢欢,张博军
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2006年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2006030230
DOC编号:DOCCGQJ2006030239
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采用微机电系统(MEMS)技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。基于S i3N4压力敏感膜,利用MEMS技术,设计了一种用于测量气压的传感器。采用应变电阻原理对压力进行测量,进行了理论分析计算,设计了工艺过程,制作出了器件样片。这种压力传感器的显著优点是结构简单、工艺过程容易。并且,在50~100 kPa的压力条件下,对传感器进行了测试,其精度达到了0.5%。
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