《GaAs MEMS微波功率传感器的设计与模拟》PDF+DOC

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2. 《一种新型MEMS微波功率传感器的理论模型与优化设计》PDF+DOC 提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比，新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上，对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型，进而导出了灵敏度、时间常数、噪声的理论解析式.最后根据拉格朗日乘数法原理，以给定的时间常数......
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4. 《热电式MEMS微波功率传感器模型的研究》PDF+DOC 为了提高热电式微机电系统(MEMS)微波功率传感器的灵敏度特性，建立了噪声系数、时间常数和灵敏度的理论解析模型。根据理论解析模型，分析得到了影响噪声系数、时间常数的首要因素、次要因素；然后，探究了噪声系数和时间常数对灵敏度特性的制约；最终，发现制约热电式MEMS微波功率传感器灵敏度特性的两个关键结构......
5. 《基于MEMS技术的微型磁性开关阵列》PDF+DOC 为了在二维微驱动系统中实时检出磁性移动块的存在位置 ，提出并试制了一种基于MEMS工艺的微型磁性开关阵列 ，它作为一种位置传感器通过扫描查询方式工作。对该传感器的工作原理、制做工艺做了详细的描述 ，并给出了一些实验结果。...
6. 《MEMS器件及其在生物医学上的应用》PDF+DOC 介绍了MEMS技术的发展概况及MEMS器件在信息领域、传感领域、生物技术领域的应用，重点介绍了MEMS在生物医疗中的应用及未来发展的趋势。...
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10. 《一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法》PDF+DOC 本文介绍了一种MEMS芯片的压力传感器的标定和补偿方法，分析了传感器的结构原理和常见补偿方式，详述了采用的标定和补偿方法，并通过实验进行了验证，证明该方法是一种简便有效的方法，能够被广泛使用。...