《基于激光微加工Al_2O_3微结构Cl_2传感器的制作及性能研究》PDF+DOC
作者:施云波,张洪泉,胡竹平,冯桥华,项金娟,郭建英
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2006年第05期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2006052080
DOC编号:DOCCGJS2006052089
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以膜厚为250μm的Al2O3膜为微结构基板、95#Al2O3瓷板为微壳结构体,设计并采用激光微加工技术制作了具有Φ0.2mm微孔通道的微结构传感器.阐述了CuCl杂化修饰CuPc的工艺过程,并通过真空镀膜形成气敏膜.实现了主动吸气的检测模式,提高了响应时间和气敏性.通过SEM分析得到了良好的表面形貌和膜尺寸,用做电极和加热器Pt膜厚为500nm,敏感膜厚为150nm,微壳深度为150~200μm.测试结果表明对Cl2具有较好的敏感响应,灵敏度为0.01%浓度下0.25倍,并呈现P型半导体的变化规律.研究了通气状态和加热电压对传感器响应和气敏性的影响。
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