作者：陈绪兴,王鸣,戎华,葛益娴 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006051490 DOC编号：DOCCGJS2006051499 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新的压力传感器的设计，该传感器基于Fabry-Perot腔干涉和波长解调理论测量压力.设计用MEMS技术以及普通的光通讯接插件制作出工艺简单，分辨率高的光纤MEMS压力传感器.阐述了传感器的工作原理，分析了硅膜的厚度对传感器性能的影响以及FP腔的长度对反射光信号的影响.系统采用可调谐激光器进行信号访问，利用反射谱的相位变化完成信号解调.理论分析和模拟计算验证了传感器加工制作方案的可行性。

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