作者：张文栋,王建,薛晨阳,熊继军,张斌珍,仝召民 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006052590 DOC编号：DOCCGJS2006052599 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 实验研究了基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿二极管(RTD)的振荡器的压力-频率转换特性，实验结果表明：该特性具有良好的线性特征，且其线性灵敏度达到0.84kHz/MPa.利用此压力-频率转换特性，首次设计并利用微机械控制孔技术加工制作了基于RTD的GaAs基悬臂式声传感器结构，实现了RTD与GaAs基微机械加工技术的工艺集成。

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