《基于厚膜技术的双电容陶瓷压力传感器》PDF+DOC
作者:唐力强,李民强,陈建群,李鹏
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2006年第07期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2006070010
DOC编号:DOCYBJS2006070019
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基于厚膜传感技术研制出双电容陶瓷压力传感器,设计了一种具有高检测灵敏度的信号处理电路,详细阐述了双电容传感器感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。实验结果表明:研制的传感器线性误差小于0.37%,迟滞误差小于0.3%,电容温度系数低于97×;10-6/℃。
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