《一种新型硅电容式流速流向传感器的设计》PDF+DOC

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2. 《基于隧道效应的微机械角速率传感器》PDF+DOC 提出了一种基于隧道效应的微机械角速率传感器的设计方案 ，还针对隧穿检测和电容检测进行了比较。并指出基于隧道效应的微机械角速率传感器将极大提高传感器的灵敏度...
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4. 《频率式硅电容压力传感器的研究》PDF+DOC 本文对频率输出的硅微机械结构电容压力传感器进行了研究。利用有限元程序和解析方式对岛－膜硅电容膜片进行了分析。采用硅体型微机械加工技术和集成电路兼容工艺完成了压力元件的制作。对易于ＣＭＯＳ集成的两种新颖的接口电路进行了分析和设计，提高了传感器的性能。...
5. 《基于MEMS的悬板式风速传感器的研制》PDF+DOC 研制了一种基于体微机械加工技术的悬板式风速传感器.传感器由可动极板和固定极板构成，通过测量传感器的输出电容变化量来检测风速.基于流体力学原理对传感器进行了理论分析.将制作的传感器封装在印刷电路板(PCB)上，并置于小型风洞内进行测试.测试结果说明所研制的传感器能够实现0~15.5 m/s范围内的风速......
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