《多孔电极平板结构的PdPc/H_2PtCl_6杂化有机半导体毒气传感器的研究》PDF+DOC
作者:施云波,张洪泉,项金娟,冯侨华,胡竹平,郭建英
单位:中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会
出版:《光学精密工程》2006年第05期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXJM2006050220
DOC编号:DOCGXJM2006050229
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采用“摸扳法”以对甲基苯酚、4-硝基邻苯二晴为原材料,以N,N二甲基甲酰胺为溶剂,在N2保护和碳酸钾的催化作用下,合成了酞菁分子碎片,通过质谱分析确定了相对分子质量为243(理论值为243.34),验证了工艺过程的正确性。以共溶技术将分子碎片与氯化钯在正戊醇、DBU作用下合成墨绿色四取代对甲苯氧基PdPc,通过红外吸收光谱分析验证了其吸收峰的测量值与理论值基本吻合,确定了合成反应终产物,进而以一定比例将PdPc、H2PtCl6共溶在甲醇溶液中,在30~50℃下48 h杂化合成为有机半导体气敏材料。依据欧姆定律,并以激光微加工、半导体技术设计、制作了多孔电极平板结构,增大电极面积,降低了电极间距,比常用叉指电极结构的电阻降低了103倍以上,使其电导率接近无机半导体数量级,利于后续电路信号采集。通过电镜观察了多孔电极的微观SEM形貌,确定其为连续、多孔的表面态,气孔在0.1~2μm,既保证了导电,又有透气的特征。以真空镀膜技术将气敏材料形成气敏膜,电镜观察其气敏膜的微观SEM形貌,基本层膜厚2μm,并有0.1~5μm微球结晶体嵌入,分布匀一,呈现继续互.....。
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