作者：王奇,赵湛,曾欢欢,方震,张博军 单位：东南大学 出版：《电子器件》2006年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2006030280 DOC编号：DOCDZQJ2006030289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS技术制造的传感器具有体积小、重量轻、成本低等特点。用于测量大气气压的传感器，主要材料是硅、氮化硅和铂金，氮化硅薄膜形成了传感器的主要结构。这种压力传感器与一般传感器相比具有结构简单、工艺易于实现以及精度高等优点。设计了工艺过程，制作了器件样片，并算法补偿了温度对传感器的影响。

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