作者：雷小华,刘国平,陈星,朱永,陈伟民 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2006年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2006060220 DOC编号：DOCYQXB2006060229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微硅加速度传感器的发展》PDF+DOC1999年第04期 孟军,茅盘松 《光纤位移法进行微小长度测量的相关实验研究》PDF+DOC1998年第05期 梁艺军,王宏涛,苑立波 《圆度测量中偏心的相关分离与修正》PDF+DOC1996年第04期 张认成,孔令德,桑正中 《MEMS三维微触觉力传感器标定方法》PDF+DOC2010年第04期 栗大超,王和牛,傅星,胡小唐 《基于单片机的传感器曲线拟合》PDF+DOC2004年第04期 黄长征,王杏进 《光纤器件》PDF+DOC2003年第04期 《灰色理论的位移传感器标定不确定度评定》PDF+DOC2012年第11期 宋小奇,何伟铭 《基于PSD的微位移传感器建模的实现方法》PDF+DOC2012年第11期 丁硕,杨友林,巫庆辉 《基于F-P腔强度解调的微位移传感器》PDF+DOC2014年第06期 李春成,王鸣,夏巍,刘强,郝辉 《光纤布拉格光栅串式多点位移计》PDF+DOC2013年第05期 张晨,冯永祥,由静

    • 标定光纤F-P传感器这种微纳米级位移传感器非常困难。分析常用的微位移技术优缺点，这里提出了一种基于弹性变形原理的工作台的设计方法。建立了工作台位移变形的数学模型，对其产生位移的误差进行了理论分析。在此基础上，实际设计并开发了实验系统，用德国he idenha iyn光栅位移传感器对光纤F-P传感器进行了标定实验。大量的标定实验证明，该微位移工作台的不确定度为0.1μm。

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