《硅悬臂梁脉象传感器温度补偿》PDF+DOC
作者:王丙利,李点美,王璐,杨志,温殿忠
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2006年第04期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2006040070
DOC编号:DOCCGQJ2006040079
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阐述了采用硅悬臂梁制造的脉象传感器结构、设计和温度补偿原理。实验结果表明:补偿后的传感器具有灵敏度高、稳定性好,线性度为1%FS(0~5 N),重复性为0.5%FS,灵敏度为50 mV/N。给出的温度补偿晶体管对该脉象传感器的灵敏度温度漂移补偿效果好,有推广应用前景。
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