作者:张奔牛,张开洪 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2006年第06期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2006060110 DOC编号:DOCCGJS2006060119 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 利用位移电流效应设计的非接触式接近传感器结构简单,单探测电极,不受静态环境影响,价格便宜.该传感器探头面积大小,延展距离,形状可根据需要任意设计,且传感器对厚度敏感并可透过物体进行探测.该传感器可用于微机电测量系统(MEMS),安保和材料内部缺陷的无损检测等应用领域。

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