《MEMS光声气体传感器光声腔的研究》PDF+DOC
作者:王建业,纪新明,吴飞蝶,周嘉,黄宜平
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2006年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2006020290
DOC编号:DOCCGQJ2006020299
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光声气体传感器在微量气体探测方面具有许多优势,光声气体传感器的MEMS化可降低成本,提高传感器性能,具有重要的实际意义。依据光声传感器的原理,结合MEMS加工技术,研究制作了一种光声腔,同时,进行了一定的理论模拟,为实现光声气体传感器的MEMS化打下重要基础。
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