《CMOS工艺兼容的单片集成湿度传感器》PDF+DOC

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2. 《一种新型的CMOS集成湿度传感器》PDF+DOC 利用MEMS技术 ，对一种新型CMOS湿度传感器进行理论分析、模拟以及结果讨论。该湿度传感器采用标准CMOS工艺制造 ，采用梳状铝电极结构、梳状多晶硅加热结构 ，衬底接地 ，感湿介质采用聚酰亚胺 ，利用商业软件Coventor进行模拟绘制出敏感电容与相对湿度的曲线图。接口电路采用开关电容电路 ，输出......
3. 《一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器》PDF+DOC 设计一种湿度传感器。该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质，采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度，以电荷转移电路为微电容测量电路，用0.35μm多晶硅栅进行设计，形成单片集成湿度传感器。整个组成电路均与CMOS工艺兼容。仿真结果表明：在测量激励方波激励下，片上湿度传感器在27℃下模拟显示出较好的......
4. 《融合RFID的无线湿度传感器节点设计研究》PDF+DOC 针对融合RFID的无线湿度传感器节点设计的需求，采用中芯国际0.18μm CMOS工艺设计并制造了一种集成湿度传感器节点。该传感器节点采用湿度传感器与其它标签电路集成设计，制造成本低。湿度传感器单元采用聚酰亚胺作为感湿材料，利用顶层金属层制作叉指结构电极，无需任何后处理工艺。整流电路采用自偏置结构降......
5. 《基于WS_2纳米片的柔性湿度传感器制备与测试》PDF+DOC 提出了一种基于WS_2纳米片的聚酰亚胺柔性湿度传感器，传感器柔性薄膜和叉指电容电极分别采用加热亚胺化工艺和丝网印刷制备得到，其制备工艺简单，成本低廉。实验表明该柔性湿度传感器能够测量25%RH～85%RH的湿度，且在高湿度范围内(60%RH～85%RH)，该柔性湿度传感器的灵敏度高达50.42 pF......
6. 《PI电容湿度传感器的研制》PDF+DOC 采用集成电路光刻工艺在玻璃衬底上制成了以聚酰亚胺（ＰＩ）为介质膜，以铬、金为电极的电容式湿度传感器．给出了传感器的制造工艺、湿敏特性和工作原理．测试结果表明：在相对湿度ＲＨ为０～９６％范围内Ｃ～ＲＨ曲线线性度良好，灵敏度为ＲＨ变化１％，电容变化０．１５～０．１７ｐＦ，该种湿度传感器的ＲＨ长期稳定性为......
7. 《一种电容型高分子湿度传咸器研究》PDF+DOC 研究一种电容型高分子湿度传感器，选择了耐热好，抗溶剂腐蚀的聚酰亚胺作湿敏薄膜，制成湿度传感器．对传感器的结构、感湿机理进行了讨论。其工作原理是湿度改变引起聚酰亚胺膜介电系数变化从而导致电容变化．对元件的制造工艺和湿敏特性进行了实验研究．认为这种高分子电容湿度传感器是一种性能优良的传感器．它将有着广阔......
8. 《1976年应力应变测定的回顾》PDF+DOC 本文总结了1976年测定应力应变的各种方法，有电阻应变计测定应变的方法，其中研究了用于低温和高温的聚酰亚胺量规及底座材用石棉的高温箔应变量规，相适应的温度分别力-196℃，250℃，300℃，并用应变量规来测量冲击应变和冲击力。最远用扩散型半导体传感器，尤其是硅薄膜型压力传感器。光弹性应力分析法有二......
9. 《CMOS工艺兼容的温湿度传感器》PDF+DOC 设计并制备了一个CMOS工艺兼容的温湿度传感器，讨论了感湿理论模型并用COVENTOR软件进行了模拟，给出了具体的结构参数及工艺制作步骤，最后对温湿度传感器进行了测量，对理论值和实际测量值做了比较并给出了分析结果.结果表明，传感器在25℃时的灵敏度为0.015pF/%RH，从15%RH～95%RH，......
10. 《ZigBee技术在仓储管理中的应用》PDF+DOC 针对大型仓库的管理困难、火灾、潮变等问题，提出了基于短距离无线通信技术ZigBee的实现方案。整个网络采用混合网的网络结构，用片上系统CC2430设计硬件节点。分析了网络中ZigBee节点的不同功能，为具有采样环境信息功能的定位节点外接了湿度传感器HIH4000，详细描述了FFD节点和RFD节点的软......