《非热式微流量传感器》PDF+DOC
作者:魏泽文,秦明,黄庆安
单位:东南大学
出版:《电子器件》2006年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDZQJ2006040200
DOC编号:DOCDZQJ2006040209
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微流量闭环控制系统的分析与研究》PDF+DOC2015年第06期 林琳
《次黄嘌呤微型传感器及其应用研究》PDF+DOC1999年第06期 胡胜水,许翠玲,崔大付
《微流量测量与控制系统》PDF+DOC1998年第03期 王晓浩,周兆英,叶雄英,张文栋
《硅基热流式微流量传感器研究》PDF+DOC2004年第03期 席文柱,闫卫平,马灵芝,牛德芳
《一种以SU-8为流道材料的集成微流体流量传感器设计及制作》PDF+DOC2010年第11期 芦琦,陈翔,肖丽君,陈迪
《传感器在智能家居系统中的应用》PDF+DOC2017年第12期 朱海棠,管芳景
《新一代热式质量流量计》PDF+DOC2001年第12期 陈洪祥,张家正,孙永华
《流量测量的意义及流量传感器的现状》PDF+DOC2005年第05期 张学庆
《SOI微型电场传感器的设计与测试》PDF+DOC2011年第11期 杨鹏飞,彭春荣,张海岩,刘世国,夏善红
《浅谈传感器与检测仪表的发展动向》PDF+DOC2010年第10期
基于微机械加工技术的微流量传感器是微传感器中重要的一种,目前,对微流体测量的研究主要集中在对流体流量和流速的测量上,按照测量方式的不同,微流量传感器可分为加热式和非加热式两种。本文概述了可以用来实现非热式微流量传感器的物理原理,并以此分类,综述了已有的非热式微流量传感器,对它们的优缺点进行了分析。通过对这些传感器进行的比较可以发现,虽然它们采取的原理和实现方法以及性能各不相同,但是它们有同样的优点就是功耗小。目前,阻碍非热式微流量传感器应用的最大障碍就是难以实现二维或三维方向的测量以及难以和标准CMOS工艺兼容。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。