作者：葛益娴,王鸣,陈绪兴,李明 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006051380 DOC编号：DOCCGJS2006051389 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 运用微机械系统加工技术制作了一种新型法布里-珀罗干涉型光纤微机电系统压力传感器，该传感器通过测量反射光谱的移动测量压力.运用多腔干涉原理对该传感器进行理论以及模拟分析得出，通过改变压力传感器的尺寸可较容易的调节压力线性测量范围和灵敏度.实验结果表明，在压力线性测量范围[0.1~1.0]MPa内，灵敏度可达到12.71nm/MPa(光谱移动/压力)。

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