作者：娄利飞,杨银堂,樊永祥,李跃进 单位：中国振动工程学会;上海交通大学;上海市振动工程学会 出版：《振动与冲击》2006年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDCJ2006040440 DOC编号：DOCZDCJ2006040449 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 以压电本构方程为基础，建立了压电薄膜微传感器机电耦合的有限元模型，采用有限元分析软件ANSYS7.0对压电薄膜微传感器进行了模态分析，同时分析了压电薄膜微传感器的结构尺寸对振动模态的影响，探讨了影响压电薄膜微传感器工作稳定性和响应速度的关键因素，结果表明为了提高压电薄膜微传感器的工作稳定性和响应速度，应该在符合工艺要求和保证其它特性的前提下，尽量减小微悬臂梁结构长度，增加多晶硅层厚度，限制PZT层厚度，而微悬臂梁宽度的影响较小。

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