作者：方平,丁凡,李其朋 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006010170 DOC编号：DOCCGJS2006010179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 常用的激光三角法微位移传感器适用于直线位移测量，不适用于微小角位移的动态测量。因此研制了一种新型的基于线阵CCD的微小角位移传感器，采用平行光斜射式激光三角法，由准直透镜、聚焦透镜及光栏等光学器件、高速线阵CCD及由CPLD、信号发生电路和采样保持电路等构成的实时信号处理电路组成，具有结构简单，线性度好，灵敏度高，测量频率高，分辨率高和实时性好等特点；介绍了其结构和工作原理，实验测试其特性，并将其应用于高频电—机械转换器动态特性的测量。研究表明该传感器的最大量程为0.2rad，分辨率为0.0002rad，最高测量频率为10kHz，可应用于高频电—机械转换器等元件的微小角位移的特性的动态检测。

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