作者：陈洁,黄庆安,秦明 单位：东南大学 出版：《电子器件》2006年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZQJ2006040980 DOC编号：DOCDZQJ2006040989 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 磁场检测在工农业生产和人们日常生活中非常普遍。随着微电子机械(MEMS)的发展，用MEMS技术研制磁场传感器正获得越来越多的研究。基于MEMS磁场传感器的原理，对各类磁场传感器做了简要介绍，评述了各种MEMS磁场传感器的加工工艺及工作原理，并对MEMS磁场传感器的发展进行了展望。

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