作者：孙剑,赵玉龙,苑国英,蒋庄德,徐敬波 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006052330 DOC编号：DOCCGJS2006052339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化，确定加速度传感器的结构尺寸，并详细论述了三轴加速度传感器的制备工艺步骤和测试结果。

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