作者:宗小林,蔡华,余辉,王平 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2006年第05期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2006052180 DOC编号:DOCCGJS2006052189 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 结合光寻址电位传感器及纳米多孔硅技术研制了一种新型的气体传感器.该传感器结合光寻址电位传感器的微机电系统工艺和平面器件特点以及纳米多孔硅的高灵敏度特性,对实现进一步细胞代谢气体的检测提供了一种可能的手段.初步实验结果表明,在室温条件下,该气体传感器对于乙醇气体具有较明显的响应,并具有一定的浓度梯度特性,证明该传感器的设计是可行的。

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