作者：黄从朝,黄庆安,廖小平 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2006年第05期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2006051660 DOC编号：DOCCGJS2006051669 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新型的MEMS微波功率传感器.与传统的结构相比，新结构具有测量误差小、设计简单、使用方便等显著优点.然后在全面考虑了热传导、热对流、热辐射三种传热机制的基础上，对传感器的主要部分即热电堆建立了热模型，进而导出了灵敏度、时间常数、噪声的理论解析式.最后根据拉格朗日乘数法原理，以给定的时间常数和噪声大小为约束条件，求得灵敏度达最大时热偶长度和串联数目的最佳值。

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