作者：林宇,段成丽,朴林华,张福学 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2006年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2006010100 DOC编号：DOCYDSG2006010109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了气体摆式两维倾角传感器的敏感原理即气体摆倾角敏感原理，并对两维倾角传感器的敏感元件结构设计方案进行了分析。分析了气体摆式两维倾角传感器的基本原理，在此基础上，研究了克服影响传感器性能的环境因素的方法，给出了一个详细和优化的解决方案。最后通过对实际制作的两维倾角传感器进行的测试表明，该文介绍的气体摆式两维倾角传感器的非线性度可小于0.2%，分辨率小于0.03&#176；，工作温度得到扩展。

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