作者:郭清,朱大中 单位:中国微米纳米技术学会;东南大学 出版:《传感技术学报》2006年第06期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGJS2006060050 DOC编号:DOCCGJS2006060059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 研究了基于扇形MAGFET同步取样模式的CMOS磁敏传感器集成电路,并由0.6μmCMOS工艺实现。该CMOS磁敏传感器集成电路以共源极的扇形分裂漏磁敏MOS管作为磁敏传感单元,使磁敏传感器在参考工作模式和测量工作模式下实现同步取样,测量垂直磁场的同时,实现了在屏蔽磁场的参考工作模式下对磁敏传感信号进行噪声校正的功能.经过集成电路芯片的测试验证,同步取样模式具有较好的噪声校正功能,工作频率为20kHz时,磁敏传感器的灵敏度为2.62V/T。

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