作者：夏文明,丁建宁,杨继昌 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2006年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2006090030 DOC编号：DOCCGQJ2006090039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 硅微压力传感器的主要研究方向之一是硅微微压传感器。分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点，回顾了它们的微压化进展，并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100 Pa)的电容式结构形式。针对其研究过程中存在的主要难点，提出了双差动结构模型，即机械与电路部分均采用差动结构，对其研究前景做了展望。

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